空氣冷卻在眾多類型真空泵中都得到廣泛的應(yīng)用,同樣好凱德羅茨真空泵也有采用這種設(shè)計。為了能夠了解羅茨真空泵空氣冷卻原理,我們可以從羅茨泵浦排氣的一側(cè)的空氣流動情況來了解。不同于其他類型泵浦,羅茨真空泵的抽氣不是連續(xù)抽取的過程,而是突然抽氣的過程,當(dāng)泵浦運行時,吸入的氣體也隨轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動而被封閉于Ao腔內(nèi),轉(zhuǎn)子在不停旋轉(zhuǎn),使A o腔內(nèi)的氣體突然與排氣口接通。在此時,羅茨真空泵排氣口的壓力達到一定壓力,氣體由于壓力的作用又返回腔體內(nèi),最終隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)其他被排除,通過這樣一種工作過程,轉(zhuǎn)子如同進行了四次的排氣過程。

羅茨真空泵由于輸送和壓縮氣體而產(chǎn)生熱量,這些熱量必須從轉(zhuǎn)子傳至殼體西熬發(fā)。但在低壓下,氣體對熱的傳導(dǎo)和對流性能極差,致使轉(zhuǎn)子吸收的熱量不易散出,造成轉(zhuǎn)子溫度永遠高于殼體的溫度。由于轉(zhuǎn)子的熱膨脹,使轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間的間隙減少,特別在壓差也高的情況下,尤為嚴重,甚至造成轉(zhuǎn)子卡死,使泵損壞。為了使羅茨泵在較高的壓差下工作,以擴大使用范圍,增加泵的可靠性,就必須設(shè)法散出轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的熱量,也就是說要對轉(zhuǎn)子進行冷卻。
我們也通過泵浦氣體的流動情況進行一個設(shè)想來了解空氣冷卻對羅茨真空泵作用原理。如果每次返沖到泵腔中的氣體是冷的,則可以在高溫的泵腔內(nèi)吸收大量的熱量,這些吸收了熱量的氣體又在轉(zhuǎn)子的繼續(xù)壓縮中排出,從而會達到對轉(zhuǎn)子冷卻的目的。
一般說來,羅茨真空泵采用空氣冷卻之后,可將壓差提高V FoTorr,而不加冷卻器一般只能達到15- 30Torr,這種冷卻方法與環(huán)境溫度有關(guān)系,環(huán)境溫度高吸入的氣體溫度就高,則冷卻效果就不好。此外,這種方法只能避免高壓差產(chǎn)生的高熱,而不能防止泵壓縮過程中發(fā)熱,而引起間隙變小的問題,所以受泵本身間隙的限制。
當(dāng)然空氣冷卻也會借助一定輔助設(shè)施來達到空氣冷卻這樣一個機理,例如在羅茨真空泵排氣口設(shè)置密集的冷卻片,冷卻片用冷水管進行冷卻,或在泵的排氣口處直接安裝冷卻水管,這樣排氣口處的氣體就會降溫,這種冷卻方法能有效地散出羅茨泵轉(zhuǎn)子在壓縮氣體中所產(chǎn)生的熱量。而且當(dāng)排氣壓力較高時,因氣體分子的密度大,使熱傳導(dǎo)性能更好,其冷卻效果也好些。使用這種方法能保證泵在較高的壓差下工作。
在高強度的運行環(huán)境下,羅茨真空泵泵腔壓力增大,同時轉(zhuǎn)子和殼體溫差不斷增高,這直接的影響是導(dǎo)致間隙不斷增大,這樣會導(dǎo)致泵浦內(nèi)逆流增大,最終導(dǎo)致羅茨泵抽速下降。為了使羅茨真空泵能在更高壓下的工作環(huán)境下工作,也可以采用其他更有效的空氣冷卻方式,可通過油循環(huán)來進行冷卻,這種冷卻方式是通過在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入,經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉(zhuǎn)子外,還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好,泵在運轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)子溫度低于外殼的溫度,大泵常采用這種方式。例如在80 Torr壓差下工作時,一羅茨泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78t,同時還發(fā)現(xiàn)泵負荷愈重時;則向隙愈大,這是PR為轉(zhuǎn)子用油冷卻,溫度比殼體低,負荷愈大,殼體膨脹愈厲害,軸間距加大,所以間隙分增大。
有些好凱德羅茨真空泵也通過水進行冷卻,由于這種冷卻方式的運用,我們通常把這種羅茨真空泵叫做濕式羅茨真空泵,這種冷卻方式的原理就是,在單級或者是雙極機械真空泵壓縮空氣后,利用組合消音器傳送,這也是利用了綜合吸收及有相位差的原理進行的。

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