為了使系統內不存在任何一點易于大量放氣的物質以及除去蒸氣壓較高的物質，必須進行徹底的處理。不同的真空元件和不同的材料有其特殊的清洗方法，常用的真空元件清洗方法如下。

(1)旋片式真空泵的清洗

對無明顯故障的好凱德旋片式真空泵的清洗,一般不拆開泵,只需從放油孔排出舊油及臟物,用漏斗從進氣口注入新真空泵油(作洗滌用),用手慢慢的旋轉泵輪幾圈后,再把此油放出。用同樣的方法重復一、二次,就可灌新油正式使用。對新好凱德旋片式真空泵不必清洗,但需要檢查管道入口處是否清潔,有無異物,并擦去表面油灰。

(2)金屬擴散泵的清洗

好凱德真空科技根據實際經驗總結,可按下述步驟進行:

①將泵內的噴口及引管小心地取出,并拆開,用干凈的棉紗或廢紙將泵內部及各級噴口與引管上的油脂擦掉;

②用濃度為50～100克/升的苛性鈉溶液,并加熱到60～70℃,進行浸洗,或者直接用有機溶劑如四氯化碳,三氯化乙烯、丙酮等進行浸洗;

③用熱水沖洗;

④用冷水多次沖洗;

⑤將零部件用熱風吹干或在烘箱中烘干。

(3)對玻璃擴散泵、玻璃管及玻璃活栓的清洗

①用冷水充分沖洗,必要時用藥棉擦試;

②若玻璃表面有油脂時,用較濃的苛性鈉溶液清洗;

③用重鉻酸鉀溶液(又稱洗液)清洗,其配方如下:

重鉻酸鉀飽和水溶液　20～30毫升

濃硫酸(94% )　500毫升

配制方法是,將重鉻酸鉀加入蒸餾水內,直到結晶不再溶化,即得到飽和溶液,量出所需的數量,然后將濃硫酸緩慢加入并不斷的攪動,即配成洗液。使用時溫度最好在100～110℃,此時溶液是透明紅色,用過多次失效后,溶液變成綠色或濘污;

④冷水沖洗,再用蒸餾水洗,玻璃上應沒有肉眼可見的水珠;

⑤用吹風機吹干或放于烘箱內烘干。

(4)真空橡膠管(或橡皮塊)的清洗

①在15%～20%苛性鈉溶液中熱煮(70℃ ～80℃)1小時以上。

②冷水漂凈;

③在水中煮沸;

④吹干或烘干。

(5)玻璃活栓在使用下清洗

玻璃活栓在使用一段時間后,常后產生漏氣,轉動困難,此時可用藥棉花醮點汽油、三氯化乙烯或四氯化碳擦洗,除去油脂。待溶劑完全揮發后,再涂以適當型號的真空脂密封。

(6)旋片式真空泵金屬零件的清洗

一般小型金屬零件,用有機溶劑去除油污,然后烘干。對金屬零件及材料若有特殊的清潔要求,則此時的清洗方法,可按具體要求辦理,總的原則是盡量減少氣源和污染源。