渦旋無油真空泵的優點及其能給用戶解決的問題:
1 渦旋無油真空泵性能優越
渦旋真空泵的主要優點是間隙小、泄漏少,具有較高的壓縮比,在較寬的壓力范圍內有穩定的抽速,工作壓力范圍寬;由于壓縮腔容積的變化是連續的 ,因而驅動扭矩變化小,功率變化小,振動噪聲低,可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。
2 渦旋無油真空泵解決了污染與振動等基礎、共性問題
由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響 , 如生物制品行業與半導體行業的油蒸汽污染與工藝系統返油閥題。真空鍍膜設備的鍍膜工藝中,在20~ 40Pa 真空條件下鍍膜時,如果應用普通旋片機械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設備造成污染,影響成膜量。半導體晶片制造工藝當中使用油泵與使用干泵相比,成品率存在很大的差距,并且排出的油霧蒸汽對環境也有污染。科學儀器行業尤其是在分析試儀器行業,采用油泵對測試結果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用渦旋無油真空泵作為前級真空泵的作用也相當明顯。另外渦旋無油真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環境污染與煩惱。

3 渦旋無油真空泵使系統制造與運行成本降低
為防止普通旋片油真空泵對真空系統的返油污染,需要在抽氣系統中加冷阱捕獲油分子;系統運行過程當中還需要定期清洗除油;有的需要定期更換真空泵油。采用好凱德渦旋無油真空泵:
第一不需要加冷阱之類捕油機構、
第二不需要換真空泵油、
第三振動更小、運行更平穩、
第四能耗降低、
第五重量更輕、
第六突破了油泵使用范圍的限制,
上述優點使好凱德渦旋無油真空泵成為普通旋片油真空泵的更新換代產品。
渦旋無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運行平穩、噪音低、節省能源、重量輕、體積小的特點并已經被廣泛應用到下述科學研究與生產領域:
①半導體行業 —— 薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;
②真空冶金行業 —— 真空爐、納米材料制備設備 、真空檢測設備;
③科學儀器行業 —— 同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;
④醫療設備 —— 牙科儀器、透析機;
⑤生物制品行業 —— 材料提純、藥品制備;
⑥包裝行業 —— 食品、藥品、生物制品等包裝設備。
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