利用質譜計的模擬掃描模式(或棒掃描)在儀器的工作質量范圍內，選擇適當的參數對系統進行全譜掃描，記錄系統殘余氣體的全譜圖。一般掃描高真空系統全譜的質量范圍選擇1u～100u就夠了。小型質譜計可以選擇1u～50u。

在質譜圖上確定譜峰質量數可用兩種方法。最簡單的方法是計算機控制的四極質譜計給出的譜圖，可以在質量數坐標軸直接讀出對應峰的質量數。而對于沒有采用計算機控制的儀器，記錄儀縱軸為峰高(離子流)，橫軸為走紙的長度，當記錄儀走紙速度一走時，可以認為橫軸為時間軸。四極質譜計為線性掃描，因此可在橫軸上，根據峰間紙的距離計算出對應峰的質量數。

真空系統簡單的殘余氣體可利用離子判別表，根據峰的質量數，直接判定該峰對應的氣體種類。再利用真空系統常見的殘余氣體的碎片圖形，對系統的組分作較詳細的分析。可以利用下面幾條規律來幫助識別真空系統殘余氣體譜：

①存在碳氫化合物(油蒸氣)污染的真空系統，會成組出現碳氫化合物一組峰，而且有明顯的特征峰，如質量數39、41、43 -組峰和55、57 -組峰;

②沒有碳氫化合物(油蒸氣)污染的真空系統的殘余氣體成分的質量數一般低于44;在無油的真空系統中，惰性氣體為主要成分，如質譜峰為2(H2)、40(Ar)和44(C02);

③有漏氣的真空系統，可以看到明顯的氧峰，質量數為32：

④可根據碎片圖形區別系統中的N2和CO(質量數均為28)，質量數為14的峰為N2的碎片，而00的碎片峰的質量數為12：

⑤未經烘烤或烘烤不徹底的真空系統，水為系統的主要成分，質譜峰的質量數為18、17和1：

⑥在無油的超高系統中，質量數為16的甲烷成分出現的原因是由于碳、氫在質譜計熱燈絲的表面作用下形成的;

⑦真空系統清洗劑殘留物如酒精酌基準峰為質量數31，丙酮為質量數42。

好凱德真空科技提供的圖為油擴散泵高真空系統的殘余氣體質譜。系統壓力為2×10^-3Pa，質譜計采用SJ X-4小型四極質譜計，倍增器電壓為1800V，靜電計量程為10^ -7A。

由于SJX-4小型四極質譜計沒有計算機控制，模擬峰采用記錄儀記錄，因此，應利用四極質譜計線性標度的特點和對殘余氣體質譜峰的基本了解，確定出每個峰的質量數。根據質譜峰的質量可進行如下分析：

①根據質量數18，17和1的峰最大，可判定系統主要成分為H20。質量數18為H20的分子峰，質量數1，17為水的碎片峰，為離子OH+，H+。

②根據質量數2，可判定系統主要成分為H2，該峰為氫的分子峰H2+。

③根據質量數41，43和質量數55，57，39峰可判定為油的裂解物的碎片峰。

④譜中質量數28，32的很小峰存在，說明真空系統存在微漏。

⑤微量的清洗殘留物酒精(C2H60)的存在，在質譜中有很少的質量數為31，12峰。