氣體循環(huán)冷卻羅茨泵、前級泵抽速、壓縮比抽速、壓縮比是羅茨泵的特征性能數(shù)據(jù)。理論抽速 Sth = S0是泵在無反壓力下置換的體積流量。在無氣體置換（入口法蘭關(guān)閉）操作時的壓縮比 K0 取決于出口壓力 p2。抽速范圍從 200 m3 · h -1 到幾千 m3 · h-1。典型的 K0 值在 10 和 75之間。

羅茨真空泵壓縮比受到兩方面的不利影響：

1.回流到活塞和殼體之間的間隙

2.通過活塞表面吸附而沉積在出口側(cè)并在轉(zhuǎn)向吸入側(cè)后又重新解吸的氣體。在出口壓力為 10-2 至 1 hPa 的情況下，分子流在密封間隙中占主導(dǎo)地位，由于其低電導(dǎo)率，這導(dǎo)致少量回流。然而，通過吸附被吸回的氣體體積，這與泵送的氣體體積相比相對較高，降低了壓縮比。

在 1 至 10 hPa 范圍內(nèi)，K0 是最高的，因為分子流因泵密封間隙的低入口壓力而仍然占主導(dǎo)地位，因此回流較低。由于通過吸附的氣體輸送不是壓力的作用，它遠(yuǎn)沒有通過抽速輸送的壓力比例氣體流量重要。

在壓力超過 10 hPa 時，間隙中出現(xiàn)層流且間隙電導(dǎo)率顯著增加，這導(dǎo)致壓縮比下降。這種影響在氣冷羅茨泵中特別明顯，該泵實(shí)現(xiàn)的壓縮比僅約為 K0 = 10。

間隙寬度對壓縮比具有重大影響。然而，由于活塞與殼體不同的熱膨脹，它們不得低于一定的最小值，以避免轉(zhuǎn)子和定子接觸。

由于其低壓縮比，羅茨真空泵必須始終作為泵組合進(jìn)行操作，用于產(chǎn)生真空。它們可實(shí)現(xiàn)的最終壓力將是所選前級泵極限壓力產(chǎn)生的結(jié)果。由于通過吸附的氣體輸送，在范圍低于 10-4hPa 下使用羅茨泵不再可行。具有各種前級泵的泵站的抽速和極限壓力表現(xiàn)如好凱德真空科技下圖所示。該曲線清楚地表明，這種泵組合的抽速上升了 8 倍，其極限壓力相對于前級泵下降了 15 倍。