真空干燥器由干燥柜、冷凝器與冷凝液收集器組成的冷凝系統與真空泵三部分組成。將濕物料置淺盤內，放到干燥柜的擱板上，加熱蒸氣由蒸氣人口引入，通人夾層擱板內，冷凝水白干燥箱下部出口流出經冷凝管至冷凝液收集器中；冷凝系統通過管道與閥門與真空泵緊密相連，組成一個完整的密閉系統，使干燥操作連續進行。

目前，真空干燥的設備也隨著現代機械制造技術以及電氣技術的發展而不斷更新，出現了真空盤式連續干燥機、雙錐回轉真空干燥機、真空耙式干燥機、板式真空干燥機、低溫帶式連續真空干燥機、連續式真空干燥機等多種形式的真空干燥設備。

用于真空干燥設備的真空系統經常會出現引起真空泵損壞的現象。因為真空干燥處理的目的就是為了排除水蒸氣。另外，被干燥的材料或產品在干燥前的儲運及制造過程中以及真空罐本身在敞口期間，難免帶進不少粉塵和顆粒狀雜質。在真空系統處于高壓力抽氣階段時，這些雜質有可能被湍流狀氣流帶進真空泵的泵腔內。

干燥時所采用的真空度和加熱溫度范圍較大，通用性較好。真空干燥系統的真空泵損壞現象有：

為了避免出現由于上述原因而導致機械真空泵損壞，除了要求在工藝過程中盡量使真空系統清潔外，可在真空泵的進氣口安裝過濾網，阻擋從進氣口可能進入到泵腔的雜質污物。在泵的進氣口處設置捕污腔，防止萬一泵進氣口的網破壞或別的原因使污物進入進氣口，也只能落在捕污腔中，而不會進入到真空泵腔內。

好凱德真空科技為防止泵油中的粉塵、顆粒物質隨泵油一起進入泵腔，對某些工藝過程，在泵運轉過程中應設有連續泵油過濾裝置。灰塵、雜質及被污染的油沉入主油箱底部后，通過回油管流入副油箱經過分離、沉淀，乳化后的油、水、灰塵和雜質沉入副油箱底部由排放閥定期放出，而相對干凈的油則由設于副油箱中上部的過濾器過濾后經進油管進入分油腔后供給端蓋和泵腔工作。

過濾器內的過濾芯在油經過時擋住了機械污染物，凈化了泵油。在過濾器上常常設置壓力表以顯示過濾器是否堵塞。當壓力增加，油不能正常流動時，即為過濾器堵塞，應更換或清洗過濾芯。

旋片式真空泵一般每周檢查一下油量。換油的時間間隔依工作條件而定。一般因油潤滑不良、油分解或污染物太多使泵極限壓力上升時，就需要更換油了。

真空干燥特性：

真空干燥箱的過程就是將干燥物料置放在密閉的干燥室內，用真空系統抽真空的同時對被干燥物料不斷加熱，使物料內部的水分通過壓力差或濃度擴散差到表面，水分子在物料表面獲得足夠的動能，在克服分子間的相互吸引力后，逃逸到真空室的低壓空間，從而被真空泵抽走的過程。

在真空干燥過程中，干燥室內的壓力始終低于大氣壓力，氣體分子數少，密度低，含氧量低，因而能干燥容易氧化變質的物料、易燃易爆的危險品等。對藥品、食品和生物制品能起到一定的消毒滅菌作用，可以減少物料染菌的機會或者抑制某些細菌的生長。