近年來，真空泵在各個工業(yè)部門中獲得了廣泛的應(yīng)用。首先應(yīng)指出的是，在生產(chǎn)電子、光電管、X射線管、白熾燈、汞弧管和氣體放電管等方面特別需要進(jìn)口真空泵。真空融化和焊接爐、大型金屬殼汞弧整流器、高伏示波器、電子顯微鏡、陰極濺射裝置、真空涂覆裝置、PCB、木工制造、吸塑包裝、光電制造、真空鍍膜及各個科學(xué)和生產(chǎn)部門的許多其他設(shè)備等也須用快速真空泵進(jìn)行排氣。

進(jìn)口真空泵主要分為以下兩類：

（1）容積旋轉(zhuǎn)式油泵，其作用原理是以泵的轉(zhuǎn)動部分機(jī)型地排除充滿工作容器內(nèi)的其他題為基礎(chǔ)。

（2）蒸汽擴(kuò)散真空泵，其作用原理是以工作液蒸汽流的排氣作用為基礎(chǔ)。

任何真空泵好凱德真空科技都可用以下三個主要參數(shù)表示：

1.極限壓強(qiáng)或極限真空--系指某種泵可以達(dá)到的最低壓強(qiáng)。

一般說來，極限壓強(qiáng)是神域氣體和工作液蒸汽分壓強(qiáng)的綜合。但是，由于工作也的性質(zhì)與泵本身質(zhì)量沒有直接關(guān)系，故作為泵參數(shù)的極限真空一般僅按剩余氣體的分壓強(qiáng)來估計，而且工作液蒸汽的分壓槍用冷凝不及其可降低到最小值。

大多數(shù)旋轉(zhuǎn)式油泵的極限壓強(qiáng)通常能達(dá)到10-3毫米水銀柱，并取決于下列因素。

泵內(nèi)有無雜質(zhì)、粘度及溶解于油內(nèi)的比例

被抽氣體在油內(nèi)的溶解度

有害空間的大小

外殼和軸承的密封度。

高真空蒸汽擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)主要不是取決于泵的結(jié)構(gòu)，而是取決于工作液的性質(zhì)，首先取決于：在泵的冷凝補集器所造成的溫度下工作也的蒸汽壓強(qiáng)。蒸汽擴(kuò)散泵一個用的經(jīng)驗證明，極限壓強(qiáng)值取決于工作液的純度及溶解于油中的雜質(zhì)和氣體的數(shù)量。

如果允許將油與大氣接觸，那么，蒸汽油泵的極限壓強(qiáng)值可以大大地增加，因為具有高蒸汽壓強(qiáng)的揮發(fā)性產(chǎn)物。

由于現(xiàn)代蒸汽擴(kuò)散泵達(dá)到的極限壓強(qiáng)極低，故泵壁及整個真空系統(tǒng)的密封度和加工的精度對其工作來說具有重大意義。 

2.最大排氣壓強(qiáng)，指泵的排氣管極限最大壓強(qiáng)值，超過此值時會造成進(jìn)氣管逆流。

旋轉(zhuǎn)式油泵的最大排氣壓強(qiáng)略高于大氣壓

蒸汽擴(kuò)散泵排氣壓強(qiáng)比旋轉(zhuǎn)式泵低得多，一次為了保證蒸汽擴(kuò)散泵正常工作，必須使排氣管與旋轉(zhuǎn)式泵的進(jìn)氣管串聯(lián)，旋轉(zhuǎn)式泵能產(chǎn)生所需的預(yù)真空度。只有當(dāng)被抽氣鎮(zhèn)裝置內(nèi)的壓強(qiáng)地域泵的最大排氣壓強(qiáng)時，才允許開動蒸汽擴(kuò)散泵進(jìn)行抽泣。

3.作用速率，系指單位時間內(nèi)以壓強(qiáng)通過泵進(jìn)氣管界面的氣體體積。泵的作用速率通常用P來表示，表示管截面的氣體體積。旋轉(zhuǎn)式泵的作用速率取決于轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)一次泵的排除的氣體體積和轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的速度。這種進(jìn)口真空泵的作用速率與壓強(qiáng)十分有關(guān)。

大多數(shù)高真空蒸汽擴(kuò)散泵的作用速率主要取決于進(jìn)氣管截面面積，一次，實際上在很寬的范圍內(nèi)并不取決于被抽氣體的壓力。

每分鐘的轉(zhuǎn)數(shù)、電動機(jī)功率、油和油的耗量等是旋轉(zhuǎn)式泵的輔助參數(shù)。

除加熱器功率和水耗量外，蒸汽擴(kuò)散泵的輔助參數(shù)還有所謂比特性，它表示為獲得一秒每升的抽氣速率，泵內(nèi)所消耗的功率值，以及與進(jìn)氣孔單位面積有關(guān)的抽氣速率

這兩種比特性可以說明蒸汽擴(kuò)散泵的各種結(jié)構(gòu)的完善程度。熱效率也是高真空的主要參數(shù)。