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蒸汽噴射泵、濕式泵、干式泵是常用的真空泵類型。
這些年，由于對節(jié)能減排和環(huán)境保護日漸重視起來，干式泵被更多業(yè)內(nèi)人士關(guān)注并選擇。
干式泵以羅茨泵、螺桿泵、爪式真空泵三大類型為主。干式真空泵的投入成本特點可以簡單總結(jié)為1高2低，即投資成本較高，但是運行成本和維修成本都較低。
（羅茨泵）
無油干式機械真空泵，簡稱干式機械泵，是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中區(qū)，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
干式真空泵的特點：
---沒有工業(yè)生產(chǎn)液流的污染
---深度真空，運轉(zhuǎn)更靈活
---無廢水，無污染，較少或無廢棄物處理費用
---在泵排放口立即回收溶劑
---消耗水、電、氣等費用較低（運行成本較低）
（干式螺桿泵）
（爪式真空泵）
干式泵的成本具體說明
***投資成本較高
***較低的維修成本
***較低的運行成本
—延長維修服務間隔時間和軸承壽命。
—在運作范圍內(nèi)，電力消耗較低。因此，在容能比方面節(jié)能效果更好。
—無受污染的油要進行處理（處理齒輪箱以外）。
干式真空泵的應用是廣泛的，可用于多晶硅制備工藝、半導體刻蝕工藝，還有化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等領(lǐng)域也適合使用干式真空泵。
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