得益于半導(dǎo)體行業(yè)的井噴式發(fā)展，螺桿真空泵成功“上位”，火起來了！

經(jīng)歷了 20 世紀(jì) 70 年代由美國轉(zhuǎn)向日本，以及 20 世紀(jì) 80 年代轉(zhuǎn)向韓國和中國臺(tái)灣，目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷向中國大陸的第三次轉(zhuǎn)移。目前，中國擁有具有全球規(guī)模的，且增長迅速的集成電路消費(fèi)市場。受益于龐大的消費(fèi)市場以及國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持，國內(nèi)集成電路制造企業(yè)均加大在中國大陸的投資以擴(kuò)張產(chǎn)能。

干式真空泵是半導(dǎo)體各制程中必備的通用設(shè)備，應(yīng)用于單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積（ALD）、封裝、測試等清潔或嚴(yán)苛制程。

半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此干式螺桿真空泵是非常好的選擇。

（半導(dǎo)體行業(yè)真空泵應(yīng)對制程）

干式真空泵應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵優(yōu)勢在于：
1.消除了工藝過程污染油或油搭載進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)的風(fēng)險(xiǎn)
2.不會(huì)產(chǎn)生廢物、或者污染寶貴的溶劑、產(chǎn)品或環(huán)境
3.它是完全干燥的，對上下游工藝沒有任何污染
4.干式真空泵中不會(huì)發(fā)生任何腐蝕
5.效率更高，耗電更少
6.吸入的溶劑或其他有用的成分可以在泵的出口直接回收

好凱德Hokaido的RKB/RKD干式螺桿泵，TURBO-M系列分子泵，是專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的真空泵。

RKB/RKD干式螺桿泵，具有運(yùn)轉(zhuǎn)功率低，噪音低，抽速快等特點(diǎn)。
·可依制程/環(huán)境需求選用水冷，氣冷及防爆馬達(dá)
·氣冷馬達(dá)機(jī)型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng)，能使用在無冷卻水系統(tǒng)的環(huán)境
·可依不同需求選配魯式泵浦，抽氣速率最大可達(dá)3500m3/h

TURBO-M系列分子泵
·抽速介于10-2700升/秒
·較高的性價(jià)比和靈活的安裝方式
·高抽速不受高負(fù)荷或雜質(zhì)氣體侵入影響

以上是好凱德用于半導(dǎo)體行業(yè)的干泵和分子泵的簡單介紹，需要了解更多，請聯(lián)系好凱德。